MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS費斯托FESTO膜片控制閥
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產品名稱: MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS費斯托FESTO膜片控制閥
產品型號: MPPES-3-1/4-6-420
產品展商: FESTO
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簡單介紹
[11]減壓閥板VABF...R...-C2用于閥規格 18 mm，帶 2 個減壓閥，用于工作氣口 2 和 4 66
MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS費斯托FESTO膜片控制閥
的詳細介紹
MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS費斯托FESTO膜片控制閥
[11]減壓閥板VABF...R...-C2用于閥規格 18 mm，帶 2 個減壓閥，用于工作氣口 2 和 4 66
[12]減壓閥板VABF...R...-C2用于閥規格 18 mm, ，帶 1 個減壓閥，用于工作氣口 2 或 4 或用于氣口 1 66
[13]盲板NDV用于閥規格 26，空閥位或備用位置81
[14]垂直進氣板VABF...P1-A3用于閥規格 26，中間氣源69
[15]節流板VABF...F1-B1用于閥規格 26，氣口 3 和 5 內節流68
[16]垂直壓力關斷板VABF...L1-D1用于閥規格 26，帶開關，用于手動關斷氣口1 70
[17]減壓閥板VABF...R...-C2用于閥規格 26，帶 2 個減壓閥，用于工作氣口 2 和 4 66
[18]減壓閥板VABF...R...-C2用于閥規格 26, ，帶 1 個減壓閥，用于工作氣口 2 或 4 或用于氣口 1 66
[19]氣路板集成安裝閥VTIA氣路板底座、隔離片、中間板、端板組合
過濾器組件LFR-D-5M-MIDI-A 費斯托
氣缸ADN-20-25-A-P-A（536238）費斯托
氣缸554214費斯托
氣缸1376429費斯托
氣缸DGC-25-165-G-PPV-A費斯托
氣缸DSNU-25-250-PPS-A費斯托
開關閥HE-D-MIDI（M843） 170682費斯托
MSFW-110-50/60
1463520DSBC-100-300-PPVA-N3EX4
1463495 DSBC-80-150-PPVA-N3EX4
維修包CRDNGS-50-PPV-A,
DADB-V6-50-S51-125
FESTO ADN-63-40-A-P-A
FESTO DSBC-125-150-C-PPVA
密封接頭-FESTO 4562 LCK-M5-PK-4
密封接頭1/4-FESTO 2029 CK-1/4-PK-4
L型密封接頭1/4 4471 LCK-1/4-PK-4
氣缸 536267_ADN-32-330-A-P-A
浮動接頭 6140 FK-M10X1,25
氣缸 536250_ADN-25-160-A-P-A
檢測氣缸 554229_ADNGF-25-5-P-A
精密減壓閥 159501 LRP-1/4-4
K閥 564212 VUVG-L14-T32C-MH-Q6-1R8L
氣缸 536293_ADN-40-25-A-P-A
先導檢查閥 530030 HGL-1/8-B
位置發送器 8115394 SDAT-MHS-M50-1L-SV-E-0.3-M8
